Lazerinė abliacija, kaip efektyvus
ir spartus įvairių medžiagų smulkių struktūrų formavimo būdas,
pastaruoju metu vis sėkmingiau įsitvirtina nanodarinių gamyboje.
Metalai yra vieni iš tinkamiausių medžiagų mikrosistemoms gaminti.
Norint formuoti tikslias mikrosistemas turi būti atliekami
generuojamų nanodalelių dydžių spektro bei koncentracijos
eksperimentiniai tyrimai. Darbe nagrinėti nikelio, aliuminio,
nerūdijančio plieno ir volframo nanodalelių generavimo procesai,
taikant nanosekundinės ir pikosekundinės trukmės impulsų lazerius.
Nustatyta, kad generuojamų visų tirtų metalų nanodalelių dydžių
spektras ir skaitinė koncentracija, vykstant lazerinei abliacijai
oro ar argono dujų aplinkoje, ženkliai skiriasi. Vykstant
lazerinei abliacijai ore generuojamos nanodalelių (1–12)·10
koncentracijos bei 8–200 nm dydžių platus spektras
su nukleacinės ir akumuliacinės modų nedidelėmis smailėmis.
Manome, kad atskiru˛ dydžių generuojamų nanodalelių spektrui
įtakos turėjo oro sudėties komponentės, kurios abliacijos proceso
metu dalyvavo cheminių junginių susidaryme (pvz., FeO, NiO, Al
).
Lazerinės abliacijos ore atveju argono dujų aplinkoje generuojamos
metalų nanodalelių (0,1–1,9)·10
koncentracijos su gerai besiformuojančiu nukleacinės, Aitkeno ir
akumuliacinės modų spektru. Stebėta lazerinės abliacijos parametrų
ir metalų savybių įtaka generuojamų nanodalelių skaitinei
koncentracijai bei dalelių dydžių pasiskirstymo spektre
poslinkiui. Mažiausios nanodalelės (~8 nm) generuotos abliuojant
nikelį pikosekundinės trukmės impulso lazeriu argono dujų
aplinkoje. Manome, kad registruotos pirminės nikelio dalelės
galėjo būti generuojamos susidarius plazmai lazerinės
spinduliuotės ir metalo sąveikos zonoje. Nerūdijančio plieno,
nikelio ir aliuminio nanodalelių (10–200 nm) generavimo procesas
intensyviausiai vyko abliuojant metalus nanosekundinės trukmės
impulso lazeriu argono dujose.
[1] J.J. Gonzalez, C. Liu, S.-B.
Wen, X. Mao, and R.E. Russo, Metal particles produced by laser
ablation for ICP–MS measurements, Talanta
73(3), 567–576
(2007),
http://dx.doi.org/10.1016/j.talanta.2007.04.029
[2] S.-B. Wen, X. Mao, R. Greif, and R.E. Russo, Experimental
and theoretical studies of particle generation after laser
ablation of copper with a background gas at atmospheric
pressure, J. Appl. Phys.
101, 123105 (2007),
http://dx.doi.org/10.1063/1.2748635
[3] S. Barcikowski, A. Hahn, A.V. Kabashin, and B.N. Chichkov,
Properties of nanoparticles generated during femtosecond laser
machining in air and water, Appl. Phys. A
87, 47–55
(2007),
http://dx.doi.org/10.1007/s00339-006-3852-1
[4] D. Breitling, A. Ruf, and F. Dausinger, Fundamental aspects
in machining of metals with short and ultrashort laser pulses,
Proc. SPIE
5339, 49 (2004),
http://dx.doi.org/10.1117/12.541434
[5] B. Liu, Z. Hu, Y. Che, Y. Chen, and X. Pan, Nanoparticle
generation in ultrafast pulsed laser ablation of nickel, Appl.
Phys. Lett.
90, 044103 (2007),
http://dx.doi.org/10.1063/1.2434168
[6] M.-H. Tsai, S.-Y. Chen, and P. Shen, Laser ablation
condensation of TiO
2 particles: Effects of laser
energy, oxygen flow rate and phase transformation, J. Aerosol
Sci.
36, 13–25 (2005),
http://dx.doi.org/10.1016/j.jaerosci.2004.08.007
[7] D.-W. Lee and M.-D. Cheng, Particle generation by laser
ablation during surface decontamination, J. Aerosol Sci.
35,
1527–1540 (2004),
http://dx.doi.org/10.1016/j.jaerosci.2004.07.007
[8] S. Barcikowski, A. Hahn, and B.N. Chichkov, Nanoparticles as
potential risk during femtosecond laser ablation, J. Laser Appl.
19(2), 65–73 (2007),
http://dx.doi.org/10.2351/1.2402526
[9] N. Morris, The fine art of micromachining, ElectroOptics.com
(2006),
http://electrooptics.com/features/aprmay06/aprmay06micromachines.html
[10] M. Brikas,
Micromachining of silicon and metals with
high repetition rate picosecond laser, PhD thesis, Vilnius
University and Institute of Physics, Center for Physical
Sciences and Technology, Vilnius (2011) [in Lithuanian]
[11] T.V. Kononenko, V.I. Konov, S.V. Garnov, R. Danielius, A.
Piskarskas, G. Tamoshauskas, and F. Dausinger, Comparative study
of the ablation of materials by femtosecond and pico- or
nanosecond laser pulses, Quantum Electron.
29(8),
724–728 (1999),
http://dx.doi.org/10.1070/QE1999v029n08ABEH001560
[12] N.B. Dahotre and S.P. Harimkar,
Laser Fabrication and
Machining of Materials (Springer Science, 2008) pp. 34–65,
http://www.springer.com/engineering/production+engineering/book/978-0-387-72343-3
[13] B.N. Chichkov, C. Momma, S. Nolte, F. von Alvensleben, and
A. Tünnermann, Femtosecond, picosecond and nanosecond laser
ablation of solids, Appl. Phys. A
63(2), 109–115 (1996),
http://dx.doi.org/10.1007/s003390050359
[14] K. Plauškaitė, V. Ulevicius, N. Špirkauskaitė, S.
Byčenkienė, T. Zieliński, T. Petelski, and A. Ponczkowska,
Observations of new particle formation events in the
south-eastern Baltic Sea, Oceanologia
52(1), 53–75
(2010),
http://dx.doi.org/10.5697/oc.52-1.053
[15] G. Mordas, M. Kulmala, T. Petäjä, P.P. Aalto, V.
Matulevičius, V. Grigoraitis, V. Ulevičius, V. Grauslys, A.
Ukkonen, and K. Hämeri, Design and performance characteristics
of a condensation particle counter UF-02proto, Boreal Env. Res.
10, 543–552 (2005),
http://www.borenv.net/BER/pdfs/ber10/ber10-543.pdf
[16] W. Haaf and R. Jaenicke, Results of improved size
distribution measurements in the Aitken range of atmospheric
aerosols, J. Aerosol Sci.
11(3), 321–330 (1980),
http://dx.doi.org/10.1016/0021-8502(80)90106-8
[17]
http://www.distfit.com/Front/DistFit/DistFit_Brochure.pdf
[18] E.G. Gamaly, N.R. Madsen, M. Duering, A.V. Rode, V.Z.
Kolev, and B. Luther-Davies, Ablation of metals with picosecond
laser pulses: Evidence of long-lived nonequilibrium conditions
at the surface, Phys. Rev. B
71, 174405 (2005),
http://dx.doi.org/10.1103/PhysRevB.71.174405
[19] J. König, S. Nolte, and A. Tünnermann, Plasma evolution
during metal ablation with ultrashot laser pulses, Opt. Express
13(26), 10597 (2005),
http://dx.doi.org/10.1364/OPEX.13.010597
[20] A. Hahn, S. Barcikowski, and B.N. Chichkov, Influences on
nanoparticle production during pulsed laser ablation, J. Laser
Micro Nanoeng.
3(2), 73–77 (2008),
http://dx.doi.org/10.2961/jlmn.2008.02.0003
[21] M.S. Tillack, D.W. Blair, and S.S. Harilal, The effect of
ionization on cluster formation in laser ablation plumes,
Nanotechnol.
15, 390–403 (2004),
http://dx.doi.org/10.1088/0957-4484/15/3/028
[22] M. Holá, V. Konečná, P. Mikuška, J. Kaiser, and V. Kanický,
Influence of physical properties and chemical composition of
sample on formation of aerosol particles generated by nanosecond
laser ablation at 213 nm, Spectrochim. Acta Part B
65(1),
51–60 (2010),
http://dx.doi.org/10.1016/j.sab.2009.11.003